晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
所屬分類:
產(chǎn)品詳情
- 產(chǎn)品描述
- 參數(shù)
- 安裝尺寸
- 標(biāo)準(zhǔn)電箱
- 末端執(zhí)行器
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潔凈室適用
所有機(jī)器人手臂和基座可互換
加長(zhǎng)手臂和高負(fù)載版本可選
省空間
單臂、雙臂/疊層牙叉適配
ISO Class 1級(jí)潔凈度
支持控制箱內(nèi)置
多種末端執(zhí)行器適配
可選裝橫移軸、Mapping傳感器、Wafer傳感器等
支持客制化定制關(guān)鍵詞:- 晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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項(xiàng)目 參數(shù) 尺寸 400W*303D*155H 控制軸數(shù) 最高8軸 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 全低壓直流伺服系統(tǒng) 通訊接口 RJ45*2 教導(dǎo)方式 教導(dǎo)器 設(shè)備環(huán)境 0-45°C,相對(duì)濕度20%-85%,無(wú)凝結(jié) 電源 單相AC220V士10%,50/60Hz 對(duì)照規(guī)格 SEMI S2,SEMIF47 -
手臂支持單臂、雙臂的配置,同時(shí)可以提供樣式豐富的末端執(zhí)行器,包括真空吸附式、邊框夾持式、邊緣夾持式、翻轉(zhuǎn)式、疊層式和伯努利吸盤式等。所有末端執(zhí)行器接口統(tǒng)一,兼容所有翼菲晶圓機(jī)器人,便于互換。機(jī)器人可選裝多種Mapping傳感器和橫移軸,形成不同的組合形式。